特許

 


特許取得

  • TOF質量分析によるHIPIMSスパッタ源のプラズマ解析方法及びその装置
    特許番号:5476540号
    塚本恵三、美齊津文典、小安喜一郎
    平成26年2月21日登録
  • 粒子計測方法および装置
    塚本恵三、戸名正英、美齊津文典、小安喜一郎
    出願中