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特許取得

• TOF質量分析によるHIPIMSスパッタ源のプラズマ解析方法及びその装置
  特許番号：5476540号
  塚本 恵三、美齊津 文典、小安 喜一郎
  平成26年2月21日登録
  
• 粒子計測方法および装置
  塚本 恵三、戸名 正英、美齊津 文典、小安 喜一郎
  出願中